华菱电子请求电阻薄膜的制备办法专利达到电阻薄膜厚度不变的前提下、的方阻数倍改变的作用

  金融界2025年7月29日音讯,国家知识产权局信息数据显现,山东华菱电子股份有限公司请求一项名为“电阻薄膜的制备办法”的专利,揭露号CN120366716A,请求日期为2025年04月。

  专利摘要显现,本发明揭露了一种电阻薄膜的制备办法:在磁控溅射设备内设置有南北极直流脉冲电源,具有两个输出极性相反且占空比别离可调整的双极性直流脉冲的输出端。两个输出端别离衔接两支由金属和陶瓷材料组成的电阻率不同的靶材,制备方阻较高的电阻薄膜时,与电阻率较高的靶材相衔接的输出端的负极性直流脉冲的占空比比较来说较高,制备方阻较低的电阻薄膜时,与电阻率较低的靶材相衔接的输出端的负极性直流脉冲的占空比比较来说较高。经过准确操控直流脉冲的占空比,能够达到电阻薄膜厚度不变的前提下、电阻薄膜的方阻数倍改变的作用。

  天眼查资料显现,山东华菱电子股份有限公司,成立于1995年,坐落威海市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本9560万人民币。经过天眼查大数据分析,山东华菱电子股份有限公司共对外出资了1家企业,参加招投标项目28次,产业线条,此外企业还具有行政许可24个。

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